高纯水概述

添加时间：2017-08-02   录入：青州三一  来源：青州三一

从学术角度讲，高纯水又叫超纯水，是指化学程度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，
但其对水质要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子行业。例如电力系统所用的高纯水，要求各杂质含量低到“微克/升”
级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子元器件的生产工艺而定，但由于微电子技术的复杂性和影响
产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺实验得到的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订中，而且
高纯水分析领域的许多突破和发展，新仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。
高纯水的国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89【168】，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个等级：一级、二级
、三级、四级、五级，该标准是参照ASTM电子级标准而设定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据是：1.微电子工艺对水质的要求；2.制水工艺的水平；3.检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可利用电渗析方法、反渗透法、离子交换法等技术去除；水中的颗粒一般可用超
过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般采用
活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阀值电压，导致低击穿，产生缺
陷，还影响材料的使用寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
天然水中的溶解气体主要有氧气、二氧化碳、二氧化硫和少量的甲烷、氡气、氯气等，在高纯水的生产过程中 ，还必须去除
这类气体。为了有效地去除杂质，在生产高纯水的过程中加入了一些化学药剂，如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。

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